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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01107574(A) 申请公布日期 1989.04.25
申请号 JP19870263776 申请日期 1987.10.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARUTA AKIRA;MURAI FUMIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3213;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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