METHOD FOR CALIBRATING THE X-Y POSITIONING OF A POSITIONING TOOL, AND APPARATUS WITH SUCH A POSITIONING TOOL

摘要

Die Erfindung betrifft Verfahren zum Kalibrieren der x-y Positionierung eines Positionierwerkzeuges (1), Verfahren zum Platzieren eines Bauteils (3) auf einem Substrat (4), eine Vorrichtung mit einem Positionierwerkzeug (1) und einem Bilderkennungssystem (2) und eine Kalibriervorrichtung (100) zum Kalibrieren der x-y Positionierung eines Bilderkennungssystem (2) basierten Positionierwerkzeuges(1). Die x-y Positionierung des Positionierwerkzeuges (1) wird bezüglich der Koordinaten des Bilderkennungssystems (2) kalibriert, indem in einem Kalibriermodus (i) das Positionierwerkzeugs (1) auf einem Rasterpunkt (24) positioniert wird, (ii) die Werkzeugkoordinaten des Rasterpunkts (24) erfasst werden, (iii) eine in definierten Lage zum Positionierwerkzeug (1) angeordneten Referenzmarke (14) mit dem Bilderkennungssystems (2) erfasst wird, (iv) die Koordinaten der Referenzmarke (14) bezüglich des Bilderkennungssystem (2) ermittelt werden, (v) die Schritte (i)- (iv) an gleichen oder weiteren Rasterpunkten (24) wiederholt werden und (vi) die Werkzeugkoordinaten und die Koordinaten im Bilderkennungssystem (2) der jeweiligen Rasterpunkte (24) mit einander in Bezug gesetzt und/oder abgeglichen werden.