SAMPLE MAKING METHOD FOR ELECTRON MICROSCOPE,申请号JP19870264132-传众专利搜索

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发明名称	SAMPLE MAKING METHOD FOR ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH01107445(A)	申请公布日期	1989.04.25
申请号	JP19870264132	申请日期	1987.10.20
申请人	FUJITSU LTD	发明人	YAMADA HIROMASA
分类号	H01J37/04;H01J37/30;H01L21/302	主分类号	H01J37/04
代理机构		代理人
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