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发明名称 Planarization of metal pillars on uneven substrates
摘要
申请公布号 US4824521(A) 申请公布日期 1989.04.25
申请号 US19870033961 申请日期 1987.04.01
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 KULKARNI, VIVEK D.;CASTEL, EGIL D.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):B44C1/22;C23F1/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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