LIQUID PHASE CRYSTAL EPITAXY APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL,申请号JP19870264538-传众专利搜索

发明名称	LIQUID PHASE CRYSTAL EPITAXY APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号	JPH01108196(A)	申请公布日期	1989.04.25
申请号	JP19870264538	申请日期	1987.10.20
申请人	STANLEY ELECTRIC CO LTD	发明人	SAITO MITSURU;BENZAKI KIYOTAKA;SAKATA MASAAKI
分类号	C30B19/06;H01L21/208	主分类号	C30B19/06
代理机构		代理人
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