| 发明名称 |
DEVICE FOR COATING OF RESIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01105549(A) |
申请公布日期 |
1989.04.24 |
| 申请号 |
JP19870261730 |
申请日期 |
1987.10.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AOYAMA YOSHIKAZU;TANAKA KAZUTOSHI |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L23/28;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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