发明名称 ION BEAM PROJECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01104765(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870262354 申请日期 1987.10.17
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NIKAMI MASAYASU
分类号 C23C14/32;C23C14/48 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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