发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH01105104(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870263104 申请日期 1987.10.19
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ANDO HIKARI;KUDO YOSHIAKI
分类号 G01B11/00;G01C15/00;G01D5/26;G01D5/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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