发明名称 TESTING METHOD FOR BOARD AND ELECTRONIC PARTS USING SAID BOARD
摘要
申请公布号 JPH01105187(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870261554 申请日期 1987.10.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD 发明人 SASAKI KAZUHIKO;YOKOZAWA KAORU
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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