| 发明名称 |
PRODUCTION OF HARD FILM BY ION CYCLOTRON RESONANCE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01103988(A) |
申请公布日期 |
1989.04.21 |
| 申请号 |
JP19870258325 |
申请日期 |
1987.10.15 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KURIHARA NORIKO;IKOMA KEIKO;HIRABAYASHI KEIJI;TANIGUCHI YASUSHI;ITO SUSUMU |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;C30B29/38 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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