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发明名称 PLATE MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01104771(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870259338 申请日期 1987.10.14
申请人 ANELVA CORP 发明人 AKAO YASUHIKO
分类号 C23C14/36;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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