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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF GROUP III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01103982(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870260833 申请日期 1987.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 SASAOKA CHIAKI
分类号 C30B23/08;C01F7/56;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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