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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01104786(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870260824 申请日期 1987.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 KAI MAKOTO
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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