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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01105448(A) 申请公布日期 1989.04.21
申请号 JP19870261037 申请日期 1987.10.16
申请人 JEOL LTD 发明人 AIHARA RYUZO;KASAHARA HARUO
分类号 H01J37/09;H01J37/141 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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