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发明名称
PRODUCTION OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH01103997(A)
申请公布日期
1989.04.21
申请号
JP19870260831
申请日期
1987.10.16
申请人
NEC CORP
发明人
SASAOKA CHIAKI
分类号
H01L21/203;C30B23/08;C30B29/40
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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