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发明名称
DRY ETCHING
摘要
申请公布号
JPH01103840(A)
申请公布日期
1989.04.20
申请号
JP19870262224
申请日期
1987.10.16
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
KIYAMA SEIICHI;HIRONO YUTAKA;OKUMA MASATO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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