发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH01103831(A) 申请公布日期 1989.04.20
申请号 JP19880023881 申请日期 1988.02.05
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 ISHII HITOSHI;TAKAHASHI TSUNEO;FUJINAGA KIYOHISA
分类号 H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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