发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01102984(A) |
申请公布日期 |
1989.04.20 |
申请号 |
JP19870261188 |
申请日期 |
1987.10.16 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SADAMASA TETSUO;HIRAYAMA YUZO;FURUYAMA HIDETO |
分类号 |
H01L29/80;H01L27/14;H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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