发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01102938(A) |
申请公布日期 |
1989.04.20 |
申请号 |
JP19880236690 |
申请日期 |
1988.09.22 |
申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
ROBAATO DONARUDO HATSUTOMAN;NANSHIYAN TSUAI |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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