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发明名称 ADJUSTMENT OF TEMPERATURE INSIDE HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH01102923(A) 申请公布日期 1989.04.20
申请号 JP19870261175 申请日期 1987.10.16
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 IWAMOTO KOICHI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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