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Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zur Bestrahlung großer Flächen mit Ionen, wobei die aus einer Ionenquelle austretenden Ionen beschleunigt, nach Ionenmassen getrennt, nachbeschleunigt und der Ionenstrahl sodann fokussiert und auf die um die Mittelachse rotierende, zu bestrahlende Fläche gerichtet wird. Erfindungsgemäß wird der Ionenstrahl durch Fokussierung derart aufgeweitet, daß die zu bestrahlenden Fläche von den auseinanderlaufenden Ionen ganz erfaßt wird. Zusätzlich werden die Ionen des Randbereichs des Ionenstrahls durch einen den Strahl seitlich umfassenden Ionenreflektor reflektiert. Hierzu weist die Einrichtung als Ionenreflektor länglich ausgebildete Elektroden auf, die mit möglichst geringem Abstand mit ihrer Längsseite parallel zueinander, in senkrecht zur Mittelachse der Beschleunigungseinrichtung liegenden Ebene angeordnet sind. Jeweils benachbarte sind an ein elektrisches Potential entgegengesetzten Vorzeichens angelegt.
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