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发明名称 REDUCING STEPPER
摘要
申请公布号 JPH01101628(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870259366 申请日期 1987.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 AMAI HIDEMI
分类号 C09B67/12;C09B67/50;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 C09B67/12
代理机构 代理人
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