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发明名称 ELECTRON BEAM PATTERN LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH01101631(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870259948 申请日期 1987.10.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAMIO MASASHI
分类号 G03F7/20;G11B21/02;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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