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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SEALING
摘要
申请公布号 JPH01100928(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870257111 申请日期 1987.10.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKEI EIJI;IIZAKA SUSUMU;CHUMA TOSHIO
分类号 H01L23/28;H01L21/56 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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