| 发明名称 |
TUNGSTEN SELECTIVE GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01101626(A) |
申请公布日期 |
1989.04.19 |
| 申请号 |
JP19870260334 |
申请日期 |
1987.10.15 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
NUMAJIRI KENJI;MORISAKO ISAMU |
| 分类号 |
C23C16/04;C09B23/08;C23C16/06;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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