| 摘要 |
1. Устройство для создания однородной газоразрядной плазмы в технологических вакуумных камерах больших объемов, содержащее вакуумную камеру - анод устройства, на одной из стенок этой камеры расположен корпус, в котором размещены электрически соединенные внутренний термоэмиссионный катод и охватывающий его полый катод, а также средство для создания в области катодов продольного магнитного поля, отличающееся тем, что полый катод имеет форму усеченного конуса, направленного своей расширенной выходной частью в вакуумную камеру. ! 2. Устройство для создания однородной газоразрядной плазмы по п.1, отличающееся тем, значение конусности K=(D-d)/L полого катода, определяющее соотношение между диаметрами большего D и меньшего d сечений конуса полого катода и его длиной L, лежит в диапазоне K=0,15-0,4. |
