发明名称 TEMPERATURE ADJUSTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01101674(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870260391 申请日期 1987.10.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OISHI TOSHIYUKI;NOGUCHI TAKU;ABE YUJI;SUGIMOTO HIROSHI;OTSUKA KENICHI;MATSUI TERUHITO
分类号 H01L39/16;G05D23/19 主分类号 H01L39/16
代理机构 代理人
主权项
地址