| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTING POSITIONAL SHIFT OF CHIP COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01100409(A) |
申请公布日期 |
1989.04.18 |
| 申请号 |
JP19870257192 |
申请日期 |
1987.10.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAGI YUJI;KATSUTA DAISUKE;HATA SEIJI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/88;G01N21/956;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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