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发明名称
DEVICE FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPH0199650(A)
申请公布日期
1989.04.18
申请号
JP19870253605
申请日期
1987.10.09
申请人
HITACHI LTD
发明人
SONOI KENJI
分类号
F24F7/06;B01D46/00;B01D46/42;B01L1/04
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
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