发明名称 Method of fabricating large area semiconductor arrays
摘要
申请公布号 US4822755(A) 申请公布日期 1989.04.18
申请号 US19880185600 申请日期 1988.04.25
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 HAWKINS, WILLIAM G.;DRAKE, DONALD J.;CAMPANELLI, MICHAEL R.
分类号 H01L21/302;B41J2/16;H01L21/301;H01L21/306;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/02;H01L21/72;H01L21/98 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址