Charged particle optical systems having therein means for correcting aberrations,申请号US19870073754-传众专利搜索

发明名称	Charged particle optical systems having therein means for correcting aberrations
摘要
申请公布号	US4823003(A)	申请公布日期	1989.04.18
申请号	US19870073754	申请日期	1987.07.13
申请人	KING, GEORGE C.;READ, FRANK H.	发明人	KING, GEORGE C.;READ, FRANK H.
分类号	H01J37/153;H01J3/12;H01J49/06;H01J49/20;H01J49/22;H01J49/48;(IPC1-7):H01J40/00;H01J47/00	主分类号	H01J37/153
代理机构		代理人
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