发明名称 SUBSTRATE FOR HEAT SINK-EQUIPPED POWER MODULE, AND PRODUCTION METHOD FOR SAME
摘要 히트 싱크의 최대 길이를 L, 히트 싱크의 휘어짐량을 Z 로 하고, 금속층에 대한 히트 싱크의 접합면을 오목한 형상으로 하는 변형에 의한 휘어짐량 Z 를 정, 접합면을 볼록한 형상으로 하는 변형에 의한 휘어짐량 Z 를 부로 하여, 25 ℃ 에서 측정한 최대 길이 L 과 휘어짐량 Z 의 비율 Z/L 이, -0.005 이상 0.005 이하의 범위 내이고, 280 ℃ 까지 가열했을 때, 및 그 가열 후에 25 ℃ 까지 냉각시켰을 때에도, 비율 Z/L 이 -0.005 이상 0.005 이하의 범위 내이다.
申请公布号 KR20160067172(A) 申请公布日期 2016.06.13
申请号 KR20167011962 申请日期 2014.10.08
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP. 发明人 OOHIRAKI TOMOYA;OI SOTARO
分类号 H01L23/373;H01L21/48;H01L23/00;H01L23/15;H01L23/367 主分类号 H01L23/373
代理机构 代理人
主权项
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