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经营范围
发明名称
PROJECTION EXPOSURE
摘要
申请公布号
JPH0198225(A)
申请公布日期
1989.04.17
申请号
JP19870255803
申请日期
1987.10.09
申请人
NIKON CORP
发明人
UMAGOME NOBUTAKA
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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