发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0196958(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19870255243 申请日期 1987.10.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TSUTOMU;NAKAMURA MORITAKA;SATO YASUHISA
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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