| 发明名称 |
FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0196015(A) |
申请公布日期 |
1989.04.14 |
| 申请号 |
JP19870251497 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AIDA TOSHIYUKI;MIYAUCHI KATSUMI;TAKAGI KAZUMASA;FUKAZAWA TOKUMI;TAKAYAMA SHINJI |
| 分类号 |
C01G3/00;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/24;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
