发明名称 |
THIN FILM PRESSURE SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0196520(A) |
申请公布日期 |
1989.04.14 |
申请号 |
JP19870254458 |
申请日期 |
1987.10.07 |
申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
INAGAKI HIROSHI;TACHIKA ATSUSHI;TABATA AKI;SUZUKI ASATAKE;KAMAIKE MAKOTO |
分类号 |
H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04 |
主分类号 |
H01L29/84 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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