发明名称 PRODUCTION OF HIGH-PURITY SILICON CARBIDE SINTERED BODY
摘要
申请公布号 JPH0196065(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19870255059 申请日期 1987.10.09
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 WATANABE HIROYUKI;ENOMOTO YOSHIHIRO;HAYASHI NORIO;MATSUMOTO FUKUJI;MOTOMIYA TATSUHIKO
分类号 C04B35/573;C04B35/56 主分类号 C04B35/573
代理机构 代理人
主权项
地址