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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR NONVOLATILE MEMORY
摘要
申请公布号 JPH0196963(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19870255301 申请日期 1987.10.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WADA MASASHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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