发明名称 MANUFACTURE OF OXIDE SUBSTRATE COATED WITH METALLIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0195590(A) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 JP19870254084 申请日期 1987.10.08
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 YANAGIHARA HIROSHI
分类号 H05K3/38;C23C14/06;C23C14/14;H05K3/14 主分类号 H05K3/38
代理机构 代理人
主权项
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