发明名称 |
MANUFACTURE OF OXIDE SUBSTRATE COATED WITH METALLIC THIN FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0195590(A) |
申请公布日期 |
1989.04.13 |
申请号 |
JP19870254084 |
申请日期 |
1987.10.08 |
申请人 |
TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK |
发明人 |
YANAGIHARA HIROSHI |
分类号 |
H05K3/38;C23C14/06;C23C14/14;H05K3/14 |
主分类号 |
H05K3/38 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|