发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0195525(A) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 JP19870252933 申请日期 1987.10.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHINDO HIROYUKI;YOKOZAWA MASAMI
分类号 H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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