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发明名称
TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0195871(A)
申请公布日期
1989.04.13
申请号
JP19870251626
申请日期
1987.10.07
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
YONEYAMA TAKESHI;NAKATANI YOSHIMITSU;NUMATA HIDEO
分类号
H01L21/50;B23K1/008;B23K3/04;B65G21/20;B65H5/36
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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