| 发明名称 |
DEVICE PROCESSING METHOD USING FOCUSED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0195457(A) |
申请公布日期 |
1989.04.13 |
| 申请号 |
JP19870251492 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHITANI TORU;ONISHI TAKESHI;KAWANAMI YOSHIMI |
| 分类号 |
H01J37/08;C23F4/00;G01Q30/10;H01J37/305;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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