| 发明名称 |
VAPOUR DEPOSITION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU582767(B2) |
申请公布日期 |
1989.04.13 |
| 申请号 |
AU19850045122 |
申请日期 |
1985.07.18 |
| 申请人 |
ALCATEL N.V. |
发明人 |
RICHARD LINNEBACH;BERNHARD GOHLA |
| 分类号 |
H01L21/205;B65G49/07;C30B25/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/205;C30B23/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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