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发明名称 ETCHING OF SILICON
摘要
申请公布号 JPH0194624(A) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 JP19870250668 申请日期 1987.10.06
申请人 HITACHI LTD;SHOWA DENKO KK 发明人 IIJIMA SHINPEI;KAWAMOTO YOSHIFUMI;HAYASHIDA TETSUYA;TAKAICHI AKIRA
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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