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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM ANBRINGEN VIELSCHICHTIGER OPTISCHER INTERFERENZSCHICHTEN AUF SUBSTRATEN MIT KOMPLEXER OBERFLAECHENFORM
摘要
申请公布号 DE3833501(A1) 申请公布日期 1989.04.13
申请号 DE19883833501 申请日期 1988.10.01
申请人 HONEYWELL INC., MINNEAPOLIS, MINN., US 发明人 LEE, JAMES C., PLYMOUTH, MINN., US
分类号 C23C16/30;C23C16/509;G02B5/28 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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