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发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0192751(A) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 JP19870250136 申请日期 1987.10.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AKIYAMA SHIGENOBU
分类号 H01L21/027;G03C5/00;G03F7/00;G03F7/26;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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