发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0110313(B1) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 EP19830111719 申请日期 1983.11.23
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 WATANABE, ATSUO;IKEDA, TAKAHIDE;TSUKUDA, KIYOSHI;HIRAO, MITSURU;MUKAI, TOUJI;KAMEI, TATSUYA
分类号 H01L27/08;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/118;H01L29/68;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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