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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0193148(A) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 JP19870252054 申请日期 1987.10.05
申请人 NEC CORP 发明人 INABA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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