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发明名称 APPARATUS FOR COATING A SUBSTRATE BY PLASMA-CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OR CATHODIC SPUTTERING, AND PROCESS USING THE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0301604(A3) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 EP19880113029 申请日期 1985.01.21
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 BRINGMANN, UDO;DREWS, KLAUS;SCHON, DETLEF GERD, DR.;DOSSEL, OLAF HELMUT, DR.;GERSTENBERG, KLAUS WOLFGANG, DR.;KURSTEN, GERHARD;ORLOWSKI, REINER UWE, DR.
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/509;G01L1/22;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/00;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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