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发明名称 SEMICONDUCTOR PELLET AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0193153(A) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 JP19870252061 申请日期 1987.10.05
申请人 NEC CORP 发明人 OCHIAI YASUHIKO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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